在半导体制造、生物医药、超纯水制备等高精度工业领域,液体流量测量的精准性与耐腐蚀性直接关乎产品质量与生产安全。FM31系列PFA材质液体质量流量控制器,以突破性技术设计重新定义行业标准,成为苛刻工况下的流量监控方案。
FM31产品关键器件用聚全氟乙丙烯(PFA)所选材质,包括聚四氟丁二烯(PTFE)的充分化学惰性与氟树酯的出产制作性,可承受浓氢氧化反应钾、氢氧化反应钠等强浸蚀性媒质,同時抵制充分石油醚、氧化反应剂的破坏。接液要素无O型密封圈圈方案,去掉产品破裂促使的信息泄露风险源,在半导体设备施工工艺中可精准脱贫风控光刻胶、蚀刻液等特定流体动力,在生物学医药公司区域可安全防护量值溯源致力于基、药液等灵敏媒质,为高含量、素洁钻戒颜色出产操作流程保驾领航。
传统流量计因机械部件磨损易导致精度衰减,而FM31系列创新性采用无移动部件设计:涡流发生器产生稳定涡旋场,涡流检测器通过非接触式电磁感应捕捉流体动态,将流速信号直接转换为电信号输出。这一结构不仅消除机械振动干扰,更使压力损失降低至传统产品的1/3,在0.4L/MIN微小流量下仍保持±0.5%FS的高精度。LED显示屏实时显示瞬时流量与累计值,操作人员无需额外设备即可完成现场调试与监控,显著提升生产效率。
从超纯水制备系统的流量监控,到半导体晶圆清洗工艺的化学药剂配比,FM31系列凭借以下优势成为行业标配:
· CE认证合规性:通过欧盟安全认证,符合工业设备电磁兼容标准,可无缝接入全球自动化系统;
· 无粒子污染设计:PFA材质表面光洁度达Ra0.2μm,无金属析出风险,满足半导体级洁净度要求;
· 安装自由度:紧凑型设计节省60%安装空间,支持水平、垂直、倾斜多角度安装,适应复杂管路布局。
作为FM01系列的升级之作,FM31系列在接液材质、显示功能、压力等级三大维度实现突破:接液部升级为全PFA材质,耐温范围扩展至-50℃~150℃;新增LED数字显示屏,支持4-20mA模拟信号与Modbus RTU数字信号双输出;压力承受能力提升至2MPa,可稳定运行于高压输送场景。这些升级使设备在光伏电池片生产、集成电路封装等高精度工艺中的适用性大幅提升。
在工业4.0时代,FM31系列PFA液体质量流量控制器以“耐蚀性+精准度+稳定性”三重优势,重新定义液体流量监控标准。无论是半导体制造的纳米级工艺控制,还是生物医药的GMP合规生产,这款设备都将成为保障产品品质、提升生产效能的核心利器。选择FM31系列,即是选择未来工业的可靠伙伴。